主要规格及技术指标 |
• 元素分析范围:元素周期表中硼(B) ——铀(U) • 检测极限(日常工作):WDS: 0.01%; EDS: 0.1% 图像理论分辨率:5nm |
主要功能及特色 |
微区(微米范围)、显微表面形貌(二次电子像)成像及成分结构形态(背散射电子像)成像 可进行元素线分布、面分布扫描,微区能谱定性分析EDS和波谱定性定量分析 • 无坏快速分析 |
主要附件及配置 | 五道高分辨谱仪,其中两道强信号大晶体,附件有分子泵镀碳仪 |