主要规格及技术指标 |
光源:采用661nm激光器,激光符合GB7247.1,对人类安全的二类激光源 光路系统:采用针孔型双共焦光路系统,光栅尺精度≤1nm光栅尺 放大倍率:综合倍率范围42x~28800x 分辨率:XY方向显示分辨率≤1nm,XY方向测量重复精度≤50nm,Z方向显示分辨率≤0.5nm,Z方向测量重复精度≤20nm,测量准确度和重复性带有可追溯体系。 物镜:采用激光专用物镜,可满足配套7个及以上物镜 线粗糙度及面粗糙度测量:且满足国标ISO4287及ISO25178的要求,测量结果准确 |
主要功能及特色 |
轮廓测量(剖面测量):可对扫描获得的样品3D形貌进行剖面轮廓测量,并带有轮廓辅助工具及测量辅助工具,减少人为测量误差 线粗糙度及面粗糙度测量:且满足国标ISO4287及ISO25178的要求,测量结果准确。 平面几何测量功能:可进行平面内的长度,宽度,角度,圆形,面积,体积的测量。 带有全自动检测流程,从数据采集、测量到报告创建的检测工作流程均可实现自动化。 XY方向带有电动载物台,载物台行程100*100mm,可针对大型样品实现自动扫描功能 |
主要附件及配置 | 颗粒图像处理仪主机、测量头、电动平台、分析软件、镜头组件 |