大型仪器共享管理系统
高能量激光剥蚀系统
193nm准分子激光源，相干COMPex102高能量激光器脉冲能量≥240mJ,最大能量密度@样品表面≥50J/cm2。风冷，高稳定强化剥蚀平台光束匀化和传导系统移动车台，配置密闭气体仓和排气口，具有光束匀化器和内置能量计。N2光路保护净化系统，软件控制。
仪器编号
TY2024000483
规格
NWR193HE
生产厂家
--
型号
NWR193HE
制造国家
美国
分类号
--
出厂日期
2024-03-13
购置日期
2024-03-13
入网日期
2023-06-20
| 主要规格及技术指标 |
准分子脉冲激光器，输出波长：193nm；最大脉冲能量≥240mJ；样品表面最大能量密度≥50J/cm2 仪器内置能量计，可实时检测能量，并在软件实时显示样品表面能量值mJ和能量密度J/cm2 激光脉冲宽度：≤20ns 脉冲重复频率：1-20Hz，且可连续或分档软件设置，最小调节间距1Hz 光斑范围：1μm-300μm 配置连续可调边长的矩形光斑，X和Y边长在范围内连续可调，调节精度均为1μm；且矩形光斑带有旋转功能，可360度任意旋转，旋转角度调节精度为1度。适用于Mapping成像分析和沿生长带剥蚀分析，可自定义任意剥蚀路径 |
| 主要功能及特色 | 193nm准分子激光源，相干COMPex102高能量激光器脉冲能量≥240mJ,最大能量密度@样品表面≥50J/cm2。风冷，高稳定强化剥蚀平台光束匀化和传导系统移动车台，配置密闭气体仓和排气口，具有光束匀化器和内置能量计。N2光路保护净化系统，软件控制。 |
| 主要附件及配置 | 高能量激光剥蚀系统、内置控制系统、气体系统、IVA无级可调圆形光斑附件 |
暂无关联门禁
暂无收费标准
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