大型仪器共享管理系统
离子束溅射镀膜与清洗多功能平台
仪器编号
20156674
规格
--
生产厂家
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
型号
JGP-450
制造国家
中国
分类号
0306030201
出厂日期
2015-09-15
购置日期
2015-09-15
入网日期
2024-07-12
| 主要规格及技术指标 | 离子束溅射镀膜与清洗多功能平台主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成，用来制备单层及多层的金属导电膜、半导体膜及绝缘膜等。 |
| 主要功能及特色 | 无 |
| 主要附件及配置 | 系统主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。 |
暂无关联门禁
暂无收费标准
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