1. 纳米级材料和析出相等微区形貌图像； 2. EDS电制冷能谱仪，材料的微区成分信息； 3. 配备EBSD电子背散射衍射，微区晶体取向信息； 4. 配备冷台，可实现样品低温观测。 5. 配备可旋转多维喷金设备。 通过软X射线谱得到微区化学结合态信息，材料微区-成分-晶体结构-化学结合态等多位一体的观察和分析；在材料图像、成分及化合价方面实现高分辨率、高灵敏度、高效分析，实现谱峰剥离能力和包括Li在内的轻元素探测能力，元素分析范围：Be4-U92；还可以加装各种原位反应台，进行原位研究。