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场发射透射电子显微镜
场发射透射电子显微镜
  • 负责人
  • 马鹏辉 冷艳秋
  • 存放地址
  • 南校区 雁塔校区
  • 联系电话
  • --
    • 场发射透射电子显微镜(FE-TEM)可对岩土体、水泥基等材料在纳米级尺度下进行快速准确的形貌分析、结构分析、晶格分析和成分分析。随着纳米科学技术的不断发展应用以及传统物理学的不断完善，人们亟需更加深刻的认识、了解岩土材料微观组成，并进行纳米尺度的计量。透射电子显微镜因其高放大倍率、高空间分辨率等优点成为地质工程领域研究的重要工具。
    预约 送样
    仪器编号
    YQJJ2025006959
    规格
    JEM-F200
    生产厂家
    日本电子株式会社
    型号
    JEM-F200
    制造国家
    日本
    分类号
    --
    出厂日期
    2022-03-20
    购置日期
    2022-09-26
    入网日期
    2025-04-16
    主要规格及技术指标 1分辨率
    1.1信息分辨率：0.12nm
    1.2点分辨率：0.25nm
    1.3 扫描透射分辨率：0.16nm
    2能谱分析
    1.1 加速电压：200kV高压，连续可调，步长为50V
    1.2 数字化面分析软件
    3电子枪
    3.1电子枪类型：超高亮度高稳定度的肖特基场发射电子枪
    3.2 电子枪发射亮度：1.8 x 109A/cm2sr @ 200kV
    3.3 束流：1nm束斑电流2.0nA；0.31nm束斑时电流0.4nA
    3.4 高亮电子枪，探针电流：≥ 50nA @200kV
    4 透镜系统
    4.1全自动光阑系统，包括全自动化一级、二级聚光镜光阑，及选区光阑和物镜光阑，带位置记忆功能
    4.2物镜极靴间距：5.5mm，保证三维重构杆、双倾杆以及各种原位杆的最大转动角度
    5放大倍数：25 - 1500000倍
    6相机配置
    配置TEM一体化超快速CMOS相机，可STEM同时、连续采集数据，所得TEM像、衍射花样等图像可以以TV模式动态显示 (可直接拍衍射), 可拍摄动态录像，相机长度：最小14mm；最大5700mm，保证选区衍射和高阶衍射成像并能通过CMOS拍照
    7 扫描透射：配置四个探头，包括HAADF探头、轴向BF探头、DF2探头和DF4探头
    8五轴增强型全自动压电陶瓷样品台，可存储和复位五维 (x, y, z, , ) 坐标；样品台的最大倾斜角度： 90()，马达机械驱动移动范围：X/Y：2mm；Z：0.75 mm
    主要功能及特色 场发射透射电子显微镜(FE-TEM)可对岩土体、水泥基等材料在纳米级尺度下进行快速准确的形貌分析、结构分析、晶格分析和成分分析。随着纳米科学技术的不断发展应用以及传统物理学的不断完善，人们亟需更加深刻的认识、了解岩土材料微观组成，并进行纳米尺度的计量。透射电子显微镜因其高放大倍率、高空间分辨率等优点成为地质工程领域研究的重要工具。
    主要附件及配置 1. 工作条件
    1.1电力供应：220V（10%），50Hz
    1.2工作温度：18C-23C
    1.3工作湿度：< 80% (20C)
    1.4仪器运行的持久性：仪器可连续使用
    1.5仪器的工作状态：较强的防震抗磁能力，工作稳定
    2.仪器设备的安全性：符合放射线防护安全标准和电器安全标准。
    3.技术规格
    3.1分辨率
    *3.1.1信息分辨率：0.12nm，扫描透射分辨率：0.16nm
    3.1.2点分辨率：0.25nm
    3.1.3 扫描透射分辨率：0.16nm
    3.2加速电压
    *3.2.1加速电压：200kV高压，连续可调，包含60kV, 80kV, 120kV, 160kV和200kV的常用高压
    3.2.2加速电压全程范围内切换仅需通过软件控制完成
    3.2.3高压稳定性：≤ 1ppm/10min
    3.3电子枪
    3.3.1电子枪类型：超高亮度高稳定度的肖特基场发射电子枪
    3.3.2 电子枪发射亮度：1.8 x 109A/cm2sr @ 200kV
    3.3.3 束流：1nm束斑电流2.0nA；0.31nm束斑时电流0.4nA
    3.3.4 高亮电子枪，探针电流：≥ 50nA @200kV
    *3.3.5束斑漂移：<1nm/min
    *3.3.6最小能量分辨率：≤ 0.7eV
    3.4 最小束斑尺寸
    3.4.1 平行光照明模式：最小束斑 1.2 nm
    3.4.2 汇聚束照明模式：最小束斑 0.5 nm
    3.5会聚束电子衍射（CBED）
    3.5.1最大衍射角：±13 （半角）；最大接受角：100°
    3.6透镜系统
    3.6.1 球差系数：1.5 mm
    3.6.2 色差系数：1.6 mm
    3.6.3 最小聚焦步长：3nm
    3.6.4 恒功率设计，消除在不同模式切换以及放大倍数调整时产生的热效应，保证成像与分析的超高稳定性
    *3.6.5 全自动光阑系统，包括全自动化一级、二级聚光镜光阑，及选区光阑和物镜光阑，带位置记忆功能
    3.6.6物镜极靴间距：5.5mm，保证三维重构杆、双倾杆以及各种原位杆的最大转动角度
    3.7 TEM放大系统
    3.7.1 放大倍数：25 - 1,500,000倍
    3.7.2 放大倍数重复性：< 1.5%
    3.8 相机长度：最小14mm；最大5700mm，保证选区衍射和高阶衍射成像并能通过CMOS拍照
    3.9 扫描透射(STEM)
    3.9.1分辨率：0.16 nm
    3.9.2配置四个探头，包括HAADF探头、轴向BF探头、DF2探头和DF4探头
    3.9.3可同时采集四幅 (4k x4k pixels) 来自不同角度的电子信号，明场(BF)，环形明场(ABF)，环形暗场(ADF)和高角环形暗场 (HAADF)的图像
    3.9.4最大HAADF STEM接收角：12° (半角)
    3.9.5 HRTEM与HRSTEM一体化设计，可以与EDS、CMOS相机等设备同时获取数据
    3.9.6 TEM模式与STEM模式相互切换所需时间小于30秒
    3.9.7 STEM放大倍数范围：150倍 – 100,000,000倍
    3.10配置四个探头，包括HAADF探头、轴向BF探头、DF2探头和DF4探头
    *3.10.1五轴增强型全自动压电陶瓷样品台，可存储和复位五维 (x, y, z, , ) 坐标
    *3.10.2样品台的最大倾斜角度： 90()，马达机械驱动移动范围：X/Y：2mm；Z：0.75 mm
    3.10.3插入低背景双倾样品杆时的最大倾斜角度： 35() /  30 ()
    3.10.4插入三维重构样品杆时的最大倾斜角度： 70()
    3.10.5 压电陶瓷最小移动精度：X/Y方向  20 pm；方向 0.04°
    3.10.6压电陶瓷样品台具有图像漂移自动校准功能，图像漂移校准精度  20 pm
    3.10.7样品台漂移 (使用标准单倾样品杆测试) ≤ 0.5nm/min
    3.10.8配备标准单倾样品杆一根，高灵敏低背景双倾样品杆一根，三维重构样品杆一根
    3.10.9配备标准双倾加热样品杆一根
    3.11 能谱仪探测器
    *3.11.1一体化对称式的四个电制冷能谱，每个能谱探头之间夹角为90°，无窗设计，集成在电镜极靴内，可灵活拆装
    3.11.2 能量分辨率：≤136 eV (Mn-Ka)，在输出计数率10kcps内保持不变
    3.11.3 元素分析范围：从B（5）-Am（95）
    3.11.4 Fiori峰背比：4,000 : 1 @ Ni-K峰
    3.11.5 最大输入计数率：800Kcps
    3.11.6 EDS立体角：0.90srad
    *3.11.7 EDS最高耐热温度：1000°C，保证后期的加热升级
    3.11.8 可进行快速原子级尺寸的点、线、面的定性定量分析，全息面分布分析，具有谱峰剥离和谱峰重构功能
    3.11.9对于纳米级球状样品，在不转动样品的前提下，能从多角度收集X射线性能
    *3.11.10面分布分析最快速度：10μs/pixel
    3.12 数字化照相系统
    3.12.1 配置TEM一体化超高速高动态数字相机，快速寻找观察兴趣区
    3.12.1.1 采集速度40帧/秒
    3.12.1.2 动态模式可实现短时间和长时间曝光的快速切换
    3.12.1.3 支持动态傅立叶变换
    3.12.2配置TEM一体化超快速CMOS相机
    3.12.3可STEM同时、连续采集数据，所得TEM像、衍射花样等图像可以以TV模式动态显示 (可直接拍衍射), 可拍摄动态录像
    3.12.4安装位置：底部安装，可伸缩式设计
    *3.12.5像素：感应尺寸：4,096 4,096像素，像素大小：14um 14um
    3.12.6读取速度：25fps @ 512x512像素
    3.12.7支持客户根据电镜语言进行控制程序的自编
    3.12.8 预留升级EELS等附件的接口
    3.13 三维重构分析
    3.13.1 最大倾角：± 90°
    3.13.2 三维重构软件包括：数据采集、对中及重构、三维重构可视化处理三大模块完整一套。
    3.13.3 最大图像漂移：X/Y方向 ≤ 2um(+/- 70°内倾转)
    3.13.4 最大欠焦量变化：≤ 4um(+/- 70°内倾转)
    3.13.5 重复性：≤ 400nm (样品杆重复3次进入)
    3.13.6 能对样品杆进行初始化校准，并将所有坐标参数存储下来，供对中时用
    3.13.7 配置三维重构可视化处理软件一套，可安装于多台计算机工作站
    3.14真空系统
    3.14.1真空构成：由机械泵、涡轮分子泵和离子泵等无油系统构成
    3.14.2真空度：电子枪真空度< 1 x10-7Pa；样品区真空度< 1.0 x10-5 Pa
    3.14.3典型换样时间小于60秒
    3.14.4更换样品时无需关高压
    3.15 软件操作
    3.15.1 数字化操作系统，基于Windows7的64位计算机控制系统，在用户图形界面上完成电镜的操作控制。
    3.15.2 能实现常用功能, 包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。能便捷地将数据、软件各模块在两台液晶显示器之间显示。
    3.15.3电镜操作者可以根据需要拥有一套或多套电镜状态参数，每套状态参数相互独立，可在使用过程中迅速切换调用。可设置任意多个用户，每个用户之间的参数设置相对独立，同时还可以相互调用。
    3.15.4 电镜操作者可以远程控制和操作电镜，不需要暗室。
    3.15.5提供TEM和STEM三维重构相关软件及离线数据处理软件一套
    3.15.6提供EDS重构相关软件一套
    3.15.7提供离线图像数据处理软件一套 (10用户)
    3.16 冷却循环单元（随主机进口）
    3.16.1 循环水单元：
    3.16.1.1温度调节范围：+12 °C to +32 °C
    3.16.1.2 控温精度：0.1 °C/min.
    3.16.1.3 电源要求：220 V, 50 Hz
    3.16.2 空压机
    3.16.2.1 超静音、自动空压机，噪音≦40 dB@1米范围内
    3.16.2.2 每分钟提供空气量不小于37L
    3.17 三维重构系统
    *3.17.1样品杆最大倾角：≥± 80°，大角度倾斜保证获取的数据更真实，重构的效果更好
    *3.17.2 倾角最小步长：0.1°，小步长可以保证精度；提供的最先进的计算方法可以在大布长的情况下获得准确的重构效果，大大节约整个三维重构的采集和计算时间。
    3.17.3三维重构硬件和软件: 三维重构硬件包含专用大倾角样品杆一套，和用于数据后处理的电脑；三维重构软件包括：数据采集软件包（TEM模式和STEM模式），和数据对中重构及可视化处理软件包
    3.17.4最大图像漂移：X/Y方向 ≤ 2 μm (+/- 80°内倾转)；
    3.17.5 最大欠焦量变化：≤ 4 μm (+/- 80°内倾转)；
    3.17.6 重复性：≤ 400 nm (样品杆重复3次进入)
    3.17.7 能对样品杆进行初始化校准，并将所有坐标参数存储下来，供对中时用；
    3.17.8 可以实现TEM模式的三维重构和和扫描透射(STEM)模式以及能谱（EDS）模式的三维重构；
    3.18 真空冷镶嵌仪，用于样品的冷镶。
    4.系统附属配件与支持
    4.1电镜控制计算机配置：HP工作站/Intel i7 3.4GHz CPU/Intel Q77 主板/ 内存16G/2×1000G STA II HDD/1GB GDDR5独立的专业图形显卡/DVD刻录机/，2个24寸显示器/Win7|64位操作系统。
    *4.2配置抗环境干扰的仪器抗干扰罩。
    4.3配置15KVA不间断电源两个
    4.4配备冷阱系统，容量不小于8L
    4.5配置备用场发射灯丝一套
    4.6随机透射电镜专用工具一套
    4.7 安装工具包（包含SF6、液氮、吹风机、氮气等等）

    暂无关联门禁

    暂无收费标准

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