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X射线光电子能谱分析仪（XPS）
主要用于固体表面和界面的化学信息，可以分析除氢、氦以外元素的元素种类及价态，并测定元素相对含量的半定量分析。XPS与成像功能和离子溅射刻蚀相结合，可以用于固体表面元素成分及价态的面分布和深度剖析。同时具有高性能XPS分析、快速平行化学成像分析和小束斑微区分析。
仪器编号
--
规格
XPS
生产厂家
岛津 Kratos
型号
AXIS SUPRA+
制造国家
日本
分类号
--
出厂日期
2025-05-20
购置日期
2025-05-20
入网日期
2025-05-20
| 主要规格及技术指标 | 无 |
| 主要功能及特色 | 主要用于固体表面和界面的化学信息，可以分析除氢、氦以外元素的元素种类及价态，并测定元素相对含量的半定量分析。XPS与成像功能和离子溅射刻蚀相结合，可以用于固体表面元素成分及价态的面分布和深度剖析。同时具有高性能XPS分析、快速平行化学成像分析和小束斑微区分析。 |
| 主要附件及配置 |
1. 灵敏度：1.0eV Ag 3d5/2≥ 6,500,000 cps 400um大束斑；1.0eV Ag 3d5/2≥ 70,000 cps 10um 小束斑； 2. X射线源：单色化，阳极靶可移动，可更换靶点数：≥16个，光源功率≤150W；最小束斑：10 μm，束斑大小：10-400 μm连续可调，步长≤5μm ；能量扫描范围：优于0-3200 eV, 最小扫描能量步长：≤3meV； 3. 单离子模式；刻蚀能量—500 eV~4keV连续可调；团簇模式：刻蚀能量—2 keV~8 keV。 |
暂无关联门禁
暂无收费标准
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