主要规格及技术指标 |
低质量28Si+质量分辨率:≥12000(m/∆m) 低质量29SiH+质量分辨率:≥12000(m/∆m) 高质量(质量数>200)质量分辨率:≥15000(m/∆m) 绝缘体(质量数=104)质量分辨率:≥12000(m/∆m) 最小脉冲宽度:≤0.7 ns(FWHM) 灵敏度:≥5.5×108 counts/nC 质量准确性(低质量):<1 mu 质量准确性(高质量):<10 ppm |
主要功能及特色 | 元素面分析 |
主要附件及配置 | 仪器主体包含但不限于进样腔室、分析腔室;真空抽气系统包括但不限于机械泵、涡轮分子泵、离子泵等;系统配置包含但不限于液态金属离子枪LMIG、飞行时间质量分析器、全自动五轴样品台、双气源离子枪、FIB功能以及仪器操控需要的计算机及软件系统等 |